蓝晶光电短波卤素加热管实现批量供货，赋能光伏、半导体 PECVD、RTP 设备精密加热工艺

作者：

小蓝晶

近日，临沂市蓝晶光电科技有限公司透明石英卤素加热管、半镀金短波卤素加热管实现稳定批量生产，产品定向适配光伏PECVD 镀膜设备、半导体 RTP快速热处理设备，可为硅片镀膜工序提供稳定可靠的红外热源方案，助力晶圆薄膜沉积工艺提质增效。

在光伏电池、半导体晶圆生产流程中，PECVD 设备负责通过工艺气体反应，在硅片表面生成钝化、减反功能薄膜；RTP 设备承担晶圆快速升温、退火处理工作。薄膜厚度均匀度、膜层附着力高度依赖稳定、均匀的基材温度场。蓝晶光电的红外加热管发出短波红外辐射，将晶圆加热至工艺所需温度，保障镀膜反应平稳进行，是整套设备不可或缺的核心热源配件。

本次量产的两款加热透明卤素和半镀金卤素加热管管均采用高纯石英基材，其中半镀金型号单侧镀金反射层可定向收拢红外能量，提升热利用效率。本产品属于短波红外方案，峰值波长稳定控制在 1.01.4μm 区间，匹配硅片吸收波段，具备 12秒极速升温、热惯性小、温控响应灵敏的特点，可快速建立均匀温场，减少晶圆片内温差，保障氮化硅等膜层沉积一致性，降低因温度波动带来的镀膜缺陷。

依托成熟生产工艺，蓝晶光电现已形成标准化批量交付能力，产品一致性、运行稳定性经过工况验证，灯管真空度强，洁净度达标，能够适配真空腔体工况，既可供镀膜、热处理整机厂商新机配套，也可满足终端工厂备件替换需求。

当前光伏、半导体设备国产替代进程持续提速，高端热源零部件需求稳步增长。蓝晶光电将持续深耕短波红外加热技术，根据设备厂商腔体结构、工艺温区需求提供定制化灯管方案，持续打磨产品品质，为国内光伏与半导体装备产业链提供高可靠性红外加热配套选择。